脱泡・脱気 Q&A|横浜理化株式会社











Degassing FAQ 탈기Q&A








脱泡・脱気とは? 脱泡・脱気とは?

脱気とは液体から溶存気体(ガス)を取除くことです。
空気を含んだ液体であれば液体中には空気の成分である窒素や酸素といったガスが溶け込んでいます。これらの溶存ガスは液体に加わる圧力や温度の変化などにより、液体中に気泡として現れます。

例えば、使用している液体が配管や機器の中で温められたり、加わる圧力が変化したりするとこうした現象が起きます。
気泡には大きなものからマイクロバブル・ナノバブルといった非常に小さなものまであります。大きな気泡はすぐに気付きますが、小さな気泡が問題の原因となっているケースもありますので注意が必要です。

脱泡とは液体から気泡(バブル)を除去することです。
目視で確認できる泡だけを取り除くことに主眼を置いてしまうと、気泡の原因となる溶存ガスの除去が十分なされないため、温度や圧力の変化などにより再び気泡が生じることがあります。脱泡を考える場合でも溶存ガスの存在を考慮に入れておく必要があります。




分子レベルの溶存ガスは目では見えません。

液中の溶存ガスを脱気

溶存ガスや気泡がトラブルの原因 脱気博士
となっているケースは脱気で
問題が解決します。

脱気Q&A Q&A

Q1 どのような脱気・脱泡の方法がありますか?
A1 加熱沸騰脱気、超音波脱気、真空減圧脱気、遠心脱気、また左記を複数組み合せた脱気・脱気がありますが、効果が弱かったり
液の組成が変化するなどの問題があり、これらの問題を解決した中空糸膜脱気モジュールが広く採用されています。
中空糸膜脱気モジュールを用いた脱気・脱泡については こちら ご覧下さい。

Q2 中空糸膜脱気モジュールはどのような液体の脱気に使用されていますか?
A2 様々な液体の脱気に使用されています。下記のような使用例があります。

脱気(FPD分野)脱気(基板分野)脱気(二次電池分野)脱気(半導体分野)
現像液、リンス液、フォトレジスト液、洗浄液、エッチング液、レジスト除去液、各種薬液
フォトレジスト、現像液、リンス液、エッチング液、除去液、洗浄液、レジスト剥離液
一次電池、二次電池、太陽電池、電解液
インク
流体制御
精密送液、微量送液、精密流量計測
精密機器
微粒子計測機器(パーティクルカウンター等)、精密検査機器
薬液塗布
基板処理液、塗布液、皮膜液、ドラムコーティング液、各種コーティング溶液
化学工業
合成反応液、重合液、溶媒
その他
有機EL、液晶カラーフィルター、薬液、溶剤

Q3 脱気や脱泡には、どんな効果やメリットがありますか?
A3 歩留り向上、コストダウン、トラブル防止、品質安定、高性能化、環境対応のために使用されています。

半導体・FPD分野
半導体製造分野で大敵のマイクロバブルを効率的に除去します。 またFPD分野での各工程における気泡の問題を解決します。
電池分野
電池で問題となる電解液中の気泡等、電池製造分野で使用する薬液中の溶存ガスや気泡問題を解決します。
二次電池(EV用電池含む)製造装置でに搭載されています。
測定機器分野
液体中に含まれる溶存ガスが測定対象物に酸化などの影響を与え正しい測定結果が得られないことがあります。また検出部が気泡の影響を受け、安定した結果が得られないこともあります。このような問題を液体中の溶存ガスを取り除くことで解決することができます。
印刷機器分野
インクの濃度や液量管理の妨げとなるインク中の溶存ガスを除去し気泡の発生を抑えます。また気泡による印字不良の問題を解決し安定した印刷を可能とします。
塗布・塗工分野
気泡が見た目の悪さや、品質低下をまねく場合があります。気泡の原因となる溶存ガスを除去することにより、塗り品質を向上させます。
送液分野
送液精度が要求される場合、液中の溶存ガスの存在を頭に入れて置かなければりません。配管内部で気泡が生じると送液量が変化するからです。ポンプ使用する場合はポンプヘッド内の気泡にも注意が必要です。送液する液体中の溶存ガスを取除くことによりこれらの問題を解決します。
洗浄分野
気泡の発生が洗浄効果を妨げるような場合に、脱気を行います。
その他
溶存酸素による酸化や好気性細菌の繁殖が問題となるケースで脱気が行われます。

Copyright (C) YOKOHAMA RIKA Co.,Ltd. All Rights Reserved.  横浜理化株式会社 お問合せ TEL 045-941-6225 メールフォーム