『低価格No.1!』フッ素系脱気モジュール 半導体製造装置搭載用 | 横浜理化株式会社

Degassing Module 탈기모듈

脱気モジュール・脱気装置(半導体製造装置向け)

脱気装置(半導体製造装置向け)

従来品より40%プライスダウン↓
高品質・高性能・安価・環境対応

薬液・溶剤用
低価格No.1!脱気モジュール

接液部は全てPFA(フッ素系:PTFE同等以上) 低価格・安価No.1! 環境対応型

耐溶剤脱気モジュール(フッ素系樹脂中空糸膜)

脱気装置(製品概要・利用分野) 製品利用分野

半導体製造装置
フォトレジスト、現像液、リンス液、エッチング液、除去液、洗浄液、レジスト剥離液


脱気装置(製品の概要) 製品の概要

 半導体製造プロセスで使用する薬液・溶剤中の泡や溶存ガスを効率的に除去します。
フォトレジスト、現像液、リンス液、エッチング液、除去液、洗浄液、レジスト剥離液等、薬液中に含まれる気泡や溶存ガスを
取り除くことにより、製品の品質安定や歩留まり向上などの効果が期待できます。
 薬液・溶剤の濃度・液量管理に不可欠な泡や溶存ガスの除去を効率的に行い、正確な薬液コントロールを可能にすることにより
エコと低コストを実現します。

・ 半導体製造分野で問題となる気泡を除去し、品質の安定、歩留りの向上、トラブルを防止します。
・ 薬液・溶剤の濃度・液量管理の障害となる泡や溶存ガスを効率的に除去します。

低価格-フッ素系脱気モジュールは(薬液・溶剤用) 高性能・低価格No.1! 脱気モジュールです。
従来のフッ素系(PTFE)脱気モジュールと比べ製品性能を高めると共に価格を40%ダウンしました。
本製品は安価で脱気装置をお考えのお客様に最適です。

脱気性能(MF500)
脱気性能グラフ(型番: MF500)




脱気モジュール(MF1000-2)

MF1000-2 外観 各種薬液・溶剤に対応



脱気装置(製品の特徴) 製品の特徴

 従来のPTFE(フッ素系)脱気モジュールと比べ製品性能を高めると共に価格を大幅にダウンしました。
PTFE(フッ素系)のような助剤由来の溶出が無く、汚れが付着しにくいPFAを接液部全てに使用していますので半導体製造分野
で安心してご使用頂けます。
脱気効率が高く、流速依存性が小さいので流量が増えても脱気能力が極端に低下することはありません。


フッ素系樹脂膜の概要 フッ素樹脂膜の概要

耐薬品性 : フッ素系の薬液・溶剤を除くほとんどの化学薬品・溶剤に侵されません。
耐汚染性 : 汚れが付着しにくく、付着しても容易に取れます。
非溶出性 : 金属イオン等の不純物の溶出がありません。通常、フッ素系樹脂膜(PTFE)は加工の際に助剤を加えるため
製品から助剤の溶出がありますが、価格-フッ素系脱気モジュールは助剤を使用しないためクリーンです。

脱気装置(技術資料) 技術資料・その他情報

脱気効率・圧力損失(MF500) 脱気(MF500)

接続資料 脱気モジュール接続資料


情報サイト 低価格No.1!-フッ素系中空糸膜脱気モジュール
薬液・溶剤用 フッ素系脱気モジュール



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脱気装置(製品ラインナップ) 製品ラインアップ

型   番
最大流量(脱気効率80%以上)
最大流量(脱気効率50%以上)
内部容量
サイズ
MF100
20ml/min.
-
40ml
Φ120×120(mm)
MF300
50ml/min.
-
110ml
Φ120×160(mm)
MF500
80ml/min.
300ml/min.
150ml
Φ120×160(mm)
MF1000
150ml/min.
500ml/min.
300ml
Φ120×240(mm)
MF1000-2
300ml/min.
1000ml/min.
600ml
W250×H330×D115(mm)

脱気装置(メモ) MF1000-2を並列に接続することにより1000ml/min以上の流速にも対応可能です。
最大流量 大気飽和水を通液して溶存酸素除去率が80%以上、50%以上になる最大流速、水温25℃、真空度12kPa(約90torr)の場合
内部容量 脱気モジュール内のガス分離膜、配管、ジョイントを含む内部容量
外寸法(突起部は含まず)


脱気装置(備考) 備考

本脱気モジュールを使用する場合は下記のいずれかの一つが必要です。

・真空ポンプまたは真空ライン
・真空制御機能付き真空ポンプ

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